Die Mikrosystemtechnik befasst sich mit Technologien und Anwendungen im Mikrometerbereich (1 µm = 1 Millionstel Meter). Sie verbindet Mikrostrukturierung mit systemtechnischen Aufgabenstellungen und vereint so unterschiedliche Basistechnologien wie die Mechanik, die Optik, die Fluidik, die Mikroelektronik und neue Materialien.

Mikrosysteme oder MEMS (Micro-Electro-Mechanical Systems) sind bereits heute fester Bestandteil unserer Alltagswelt geworden. Man begegnet ihnen unter anderem in Kraftfahrzeugen, in der Informations- und Kommunikationstechnik, in der Unterhaltungselektronik, in der Fertigungs- und Automatisierungstechnik, in der Chemie, Pharmazie, Medizintechnik, zunehmend auch in der Gebäudetechnik und in Haushaltsgeräten. Die Vorteile von Mikrosystemen sind neben der geringen Größe und dem kleinen Gewicht die hohe Funktionsdichte, der reduzierte Energiebedarf sowie die Einsparung von Material und Fertigungskosten.
Überall dort, wo Miniaturisierung eine zentrale Rolle spielt, ergeben sich neue und zunehmend komplexere Einsatzmöglichkeiten von mikrotechnischen Bauteilen und Systemen. In weiten Bereichen sind Produktinnovationen ohne die Einbindung von Mikrosystemen gar nicht mehr denkbar. Die Mikrosystemtechnik verfügt somit über ein gewaltiges Wachstums- und Wertschöpfungspotenzial und kann entscheidend zur Wettbewerbsfähigkeit neuer und bestehender Unternehmen beitragen. Zudem liefert die Mikrosystemtechnik die nötigen Schnittstellen, um innovative Entwicklungen aus anderen neuen Technologiefeldern wie der Bio- oder der Nanotechnologie in neue Produkte zu integrieren.

Technischer Fortschritt sowie kontinuierlicher Miniaturisierungsdruck in den Führungsbranchen sorgen für ständig neue Produktanwendungen und überdurchschnittlich gute Wachstumsprognosen in der Branche. Nordrhein-Westfalen nimmt im innerdeutschen Vergleich mit mehr als 350 Akteuren eine führende Position im Bereich der Mikrosystemtechnik ein. In NRW haben 28% aller deutschen Unternehmen und Forschungseinrichtungen, die sich mit Mikrosystemtechnik befassen, ihren Firmensitz. Regionale Schwerpunkte bilden Dortmund, Aachen, Münster, die Rheinschiene und das Ruhrgebiet.

In Deutschland spielt die Mikrosystemtechnik eine zentrale Rolle für Wachstum und Beschäftigung. 680.000 Arbeitsplätze sind direkt mit der Mikrosystemtechnik verbunden – Tendenz steigend.